摘要：本发明公开一种软碰撞光栅尺及其测量方法，包括固定主尺〓、滑动副尺和活动测头；该滑动副尺相对固定主卐尺可滑动地设置；该活动测头随滑动副尺同步移动，且活动测头相对滑动副尺可滑动地设置；以及，针对该活动测头设有缓冲机构；藉此，通过将活动测头相对滑动副尺可滑动地设置，并配合利用缓冲机构对活动测头的缓冲作用，使得活动测头与被测物的第一阻挡面或第二阻挡面发生碰撞时能够自动获得一个反向的补偿作用，实现软碰撞效果，一方面，有效避免损坏活动测头，保证测量作业∞的正常进行；另一方面，滑动副尺不会反弹，而是利→用活动测头相对滑动副尺反向移动而获得一个补偿距离，并测出该补偿距离的数值，提高Ψ测量值的精确度。
- 专利类型发明专利
- 申请人广东万濠精密仪器股份有限公司;
- 发明人巫孟良;
- 地址523000 广东省东莞市长安镇厦边管理区上朗路广东万濠精密仪器股份有限公司
- 申请号CN201110240842.0
- 申请时间2011年08月22日
- 申请公布号CN102359760A
- 申请公布时间2012年02月22日
- 分类号G01B11/02(2006.01)I;
