摘要：本实用新型涉及一种气质联用仪。本实用新型公开了一种气质联用仪载气控制气路装置，其中，质量流量计一通过T型三通一与电磁阀二的一端连接，电磁阀二的另一端与汽化室连接，T型三〗通一还与电磁阀一的一端连接，电磁阀一的另一端与T型三♀通二连接，T型三通二还与汽化室的载气入口连接，T型三通二还与压力传感器的一端连接，压力传感︼器另一端通过质量流量计二与稳流阀的出气口连接，稳流阀还连接一个指针式压力表，针型阀连接在汽化室的吹扫气出口端用于调节吹№扫气的流量，汽化室还与毛细柱◢连接。本实用新型能实现压力/流量控制、横流恒压╱模式控制、温度流速补偿，能明显』降低分流状态电磁阀切换时的压力/流量波动和反应时间慢的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京东西分析仪器有限公司;
- 发明人李选培;
- 地址100078 北京∏市门头沟区石龙经济开发区上园路3号
- 申请号CN201320303090.2
- 申请时间2013年05月29日
- 申请公布号CN203259512U
- 申请公布时▽间2013年10月30日
- 分类号G01N30/32(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安※备11010802043465号
