| 非标（准）实验设备- 程控管式炉沉积设备 | ||
| 产品名称: | JYL／GL-1200 DJ 型程控管式炉沉积设备 | |
| 外观图片 |  | |
| 用 途 | ||
| 主要适用于在高、中温及真空条件下完成的∏多种工艺（例如：沉积、退火、催化、氧化、合金等）。 | ||
| 组成部分 | ||
| ①、程控微型管式〖炉（可编程智能 PID 调节器及高温微型炉体） | ||
| ②、气体控↙制系统（含两路 MFC 及气」体管路部件） | ||
| ③、真空操作系统（含真空泵，数显真空计，截止阀，调压管路） | ||
| ④、密封☆冷却水套、颗粒过滤器及工艺管 | ||
| 主要技术参数 | ||
| ● 炉 管 直 径: Ф70mm（还可以根据使用需要定做）［工艺〖管外径Ф52mm ］ | ||
| ● 炉 体 长 度 ： 500mm ［工艺管长度 1000 mm ］ | ||
| ● 最 高 温 度： 1200 ℃ | ||
| ● 温度使用范围： 100 ℃ ～ 1200℃ | ||
| ● 控 温 精 度： ≤ ± 1℃ | ||
| ● 升 温 时 间: ≤20min（室温至1200 ℃） | ||
| ● 控 温 方 式： 程序调节时按编程曲线控制温度的升、降速率及恒温的定时控制（可编程 4 条曲线） | ||
| ● 最大升温功率： 小于 2KW | ||
| ● 恒 温 功 率： 小于 1KW | ||
| ● 系统极限真空度： 优于 5 Pa | ||
| ● 流 量 量 程： 0～500SCCM | ||
| ● 流量控制精度： ≤±2％F.S | ||
| ● 供 电 电 源： 380V / 220VAC ； 16A 50Hz ( 三相五线制 ) | ||
| ● 外形尺寸(mm)： 程控微型管式炉： 宽×深×高 ＝ 520 × 420 × 550 | ||
| 气体控制系统： 宽×深×高 ＝ 480 × 420 × 500 | ||
| 真空操作系统： 宽×深×高 ＝ 480 × 420 × 500 （真空泵外置） | ||
| ● 重 量： 40Kg ( 积木式一字排◤放在工作台上 ) | ||
