详细说明
技术参数：
1)．测量范围：
电阻率：10的-4次方~10的5 次方Ω-cm
方块电阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω/□
电阻：10的-4次方 ~10的5 次方Ω
2)．可测半导体材料尺寸
直径：5mm-130cm
长度：≤400mm
如果使用手持探针，尺寸范围可以延伸
3)．测量方法：
轴向、断面均可
4)．显示方式：41/2,数显,极性、过载自动显示，小数点、单位自动显示。
5)．恒流源：
（1）电流输出：直流电流0~100 mA
（2）量程：10、100μA、1、10、100mA
（3）误差：±0.5%读数±1个字
6).四探针测试探头
(1) 探针间距:1mm
(2) 材料:碳化钨.探针机械游移率:±1.0%
7).电源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W
10.SZT-2A 四探针」测试仪器的价格为16800元/套和21800元/套两种
21800元/套 为带电脑接口 <接口功能为当硅片的厚度＜1mm时自■动修正读数，使得测量出的数据准确率为100%，被测试的数据自动生成表格并可以打印，可以随时保存和删ω除
