详细说明
Lighthouse 微粒监测器
微粒监测器
表面微粒计数器是可以在不干扰监测面操作的情况下直接测试和计量微粒数。要求没有真空或液体的流动情况下，
通过平行光波移动︽提供可靠，可重复和准确的测量值。实时监测表面动态，图像处理软件将自动计量微粒的数量和大小。该数据将立即完整的显示在15寸大小的TFT显示屏上，
同时进行打印，存储以备将来参考和比较。
微粒监测器能被设置在诸如不锈钢或玻璃等不同材料表面进行微粒监测。它独特的技术和便携设计理念使得其成为各ω大关注表面微粒污染的公司理想的监测工具。
特征
优点
应用
表面直接测量
可反复测∞量
非破坏性测ω 量
表面成像记录
测量微粒大小和计量数量
表面微粒区域定※位
数据和图像储存
各类界面设置
保存每一↑界面设置
表面大颗粒】微粒计量
设计可靠
应用支持和培训
区域服务
较高的可靠性
全球」技术服务支持
用户低成本
SMIF 和 FOUP 产∑ 品的洁净测试
高效率的室内清洁
晶圆█和磁盘的替换
操作系统的测试
洁净度
洁净流程的评△估
表面沉积率的评估
洁净室表面测试
测量0.5～4000微米的微①粒
设备洁净程度评估
测量原理
图像掠影描述
粗略表面淡化
微粒光◣学成像
采用摄像机记录图像
数字成像进程分析
图∴像掠影技术
技术层面微粒污染的高质量对比记录
直接测量技术
在线连接
全面自动化的控制
重复测量结果√
微粒监测显示和分析设备
15寸TFT显示屏
分散光测量头供应和控制模块
图像编辑模块
带有windows 2000 操作系统的分析器
windows 2000 办公软件
微粒监测图像处理软件
微粒监测分▼析软件
5.1 微粒
尺寸：宽×长×高 410×240×350毫米
操作指南
技术资料
测量范围
0.5 - 4000 微米
侦测范围
0.5 微米 (50% 计数率)
测量范围
4 x 6 毫米
分析周期
30毫秒以上
测量头大小
65 x 65 x 80 毫米 (宽x长x高)
测量头电线长度
1.3 米
显示器
TFT
分析功能
－最大.微粒长度
－每一类〗微粒数量
输入电源
115VAC, 7A, 50-60Hz or
230VAC, 8A, 50-60Hz
图像格式
JPEG, BMP
操作系统
MS Windows
数据格式
CSV
Data Analysis数据分析
ParticleGuard T Screenshot 微粒监测 T 显示截图
