详细说明
特点
1、光学分辨率1.0nm(FWHM)
2、光谱范围 200-1100nm
3、快速的建模及存储实验方法
Recipe编辑器
Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监㊣测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等，能够快速简单的构建模块过程控制。
多种工具用于等离子体诊断
随PlasCalc配置的操作软件，集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长♀发生器（可以单独购买）用于类型确认，而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显『示实际光谱及所有过程控制信息。
PlasCalc 配置说明
光谱范围: 200-1100 nm
光学分辨率: 1.0 nm (FWHM)
D/A 转换: 14 bit
数字I/O: 8 x TTL
模拟输出: 4 x [0-10V]
接口: USB 1.1
功耗: 12 VDC @ 1.25 A
