产品简介
小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4″石英管和真空法兰， 是专为半导体或太阳能电池基片（最大3”）的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热，最快升╲温速度为 50℃/s，设有30 段温度控制，精度为±1℃。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。
主要特点
1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率，同时可延卐长其使用寿命。
2、石英〖样品架◥固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易。
3、样品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承载需要退火的样品。AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区
域有很好的温度均匀性（±5℃）。
4、内插式热偶保证了温度的准确性。
5、采用PID自动≡温度控制，30段程序，并设有过热和断偶保护功能及自整定功能。
6、已通过CE认证。所有电器元件（>24V）都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用，本司保证
单台设备通过德国TUV认证和CAS认证。
7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉（快速热蒸发炉）。
技术参数
1、电源：208V-240V AC，50Hz/60Hz单相，最大功率9KW（>60A保险）
2、炉体结构：双层莫来石钢构（不带水冷或风冷）
3、石英管：外径Ø110mm，内径Ø103mm，长380mm
4、样品架：76mm
5、加热元件：8根红外灯管，灯丝长200mm，丝圈Ø10mm，灯长300mm
6、恒温区：102mm×305mm，均匀性±5℃
7、热偶：K型热偶
8、温度：最高温度1100℃，额定温度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保温时间不超过600s，否则O型圈将被
烧融）
9、控温精度：±1℃
10、最快升温速度：RT-800℃内50℃/s，800℃-1000℃内10℃/s
11、最快降温速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一个大气压下）
12、真空度：50mtorr（机械泵），10-4torr（分子泵）
13、真空法兰： 带有KF-D25高真空不锈钢法兰，配有两个高温O型圈密封
14、流量计：16ml/min-160ml/min
15、真空计：数字真空计，测量范围10mtorr-800torr（注意：此表在氮气↓下校准的，只有在氮气和空气下表
上显示的实▲际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会
严重）
16、水冷：如要求』通冷却水，请确定冷却水流速3L/min、水温20℃、水压25PSI（建议采用循环水制冷器作为∏
冷却系统）
产品规格
尺寸：760mm×330mm×530mm
重量：45kg
标准配件
1、AIN基片
2、石英样品架
3、石英管
4、石英挡板
5、红外灯管
6、真空法兰
7、KF-D25快接
8、数字真空计
9、高温手套
10、高温硅胶圈
11、聚氨酯水管（外径Ø12mm、内径Ø8mm）
12、水管接头
13、63A保险
14、4A保险
可选配件
1、真空泵
2、波纹管（KF-D25接口）（1m）
3、KF-D25快接
4、防腐型数字式真空显示计（测量范围3.8×10-5torr-1125torr，不需要因测量气体的种类不同而进行系数转换）
5、RS485串口和控温软件
注意事项
1、炉管内气压不可高于0.02MPa。
2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。（建议选购本司的减≡压阀，量
程为0.01MPa-0.1MPa，更加精确安全）
3、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。
4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。
5、石英管的长时间使用温度<1100℃。
6、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气⊙阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时
刻关注压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa，必须立即打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破
裂、法兰飞出等）。
