产品简介
25KW程序控温感应熔炼炉SP-25TC是一款小型程控感应熔炼系统,配备有直径Φ100mm的石英管、不锈钢法兰、石墨坩埚、真空泵、水冷机和移动架,最大功率为25KW,是生长晶体和合金熔炼(熔点< 1700oC)的理想选择。
主要特点
1、配有可耐1800℃的高纯氧化铝纤维制作的耐火砖,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。
2、设♀有自动水压、过热、功率过高保护系统。
3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升〇降温程序,设有过热和断偶保护功能。
4、配有防▲腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-
5torr。
5、配有双旋直连式机械泵。
技术参数
高频感应加热炉
1、工作电压:三相AC 380 V 50Hz(需60 A空气开关)
2、最大输入↙功率:15KW
3、振荡频率:30KHz-80 KHz
4、循环比:80%
5、感应线圈:外径Φ120mm,内径Φ110 mm,高50 mm(可微调)
温度控制器
1、工作电压:AC208V-240V 单相
2、控温精度:±5℃
3、温度:连续工作【温度1000℃-2000℃,最高工作温度1700℃(工作时间<30min)
4、最大升温速率:1℃/s(0-1000℃)、0.5℃/s(1200℃-1700℃)
石墨坩埚(易耗件)
1、高纯石墨坩埚:外径Φ40mm,内径Φ37.1mm,高100.5mm(可选购SiC涂层,涂在坩埚内@部,以提」高金属熔
炼时的洁净度)
2、最大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2
石英管和密封法兰
1、石英管:外径Φ100mm,内径Φ92mm,长355mm
2、顶部法兰:不锈钢法兰,装有不锈钢针阀,设有1个铠装接口(可插入热电偶至石英管内部,更准确地测量样
品温度)
3、底部法兰:设有不锈钢针阀和KF25接口(可通过波纹管与真空泵相连接)
水冷机
1、温度:5℃-30℃
2、水流速:16L/min
3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作
(建议使用特定的冷却剂液以达到最佳的冷却效果)
真空泵
1、工作电压:AC208V-240V单相
2、抽气速率:120L/min
3、极限真空度:10-2torr
(为了获得更高的真①空度以达到更好的熔炼效果,可选购涡旋分子泵,真空度可达10E-5torr)
注意事项
操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须》在≤0.02Mpa 的流动氩气◆下进行,流量小于200ml/min,需始终Ψ 保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤▅害。
其他事项
本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。