产品简介
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统，配备30KW感应加热器、8.5″（216mm）石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架，最高温度≡可以达到2000℃（使用时石英管内需通入保护性气体），是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的绝佳选择。
主要特点
1、采用多块氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，并防止热量辐射。
2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。
3、温控器采用PID方式控温，可设置30段升降温程序」，设有过热和断偶保护功能。
4、配有防腐型真空计，当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类的不同进行∑系数转换，量程可到3.8×10E-
5torr。
5、迷你型浮子流量计精度▓为4%。
6、配有双级旋片机械泵（2L/s），可使石英管内真空度达到10E-2torr。
技术参数
感应加热器
1、工作电压：三相AC 380 V 50Hz（需60 A空气开关）
2、工作电流：7Amps-70Amps（需100A空气开关）
3、功率：最大振荡△功率30KW，最大输入▽功率15KW
4、输出频率：30KHz-110 KHz
5、占空比：80%
6、感应线圈：内径Φ220 mm，高65 mm
7、空气冷却：后风扇
温度控制器及热电←偶
1、工作电压：AC208V-240V 单相
2、控温精度：±3℃
3、热电偶：C型，外径Φ1/4″，长10″
4、连续工作温↘度范围：1000℃-2000℃
5、最大升温速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）
石墨坩埚（易耗件）
1、高纯石墨△坩埚：外径Φ114mm，内径Φ100mm，高142mm
2、最大容量：样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2，最大质量为4kg（以铁标定）
3、保温层：石墨坩埚外环绕〓三层隔热材料，从内至外分别为石墨毡（可耐温2200℃）-氧化铝（可耐温
1700℃）-高温毡，总厚度为32mm
石英管和密封法兰
1、石英管：两端开口，外径Φ216mm，内径Φ208mm，长500mm
2、顶部法兰：采用不◢锈钢折叠式法兰，装有防腐型真空计、不锈◣钢截止阀，设有1个1/4″的铠装接口（可插入热
电偶☆至石英管内部，更准确地测量样品温↑度）
3、底部法兰：设有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接
水冷机
1、温度：5℃-30℃
2、水流速：>16L/min
3、水箱容积：12L，采用不锈钢制作
4、水压：≥0.1MPa
5、流量：≥5L/min
（建议使用特定的冷【却剂液以达到最佳的冷却效♂果）
真空泵
工作电压：AC208V-240V单相
移动炉架
尺寸：700mm×1000mm×700mm，钢框架结◢构，方便移动感应加热器和带法兰的石英管
产品规格
注意事项
操作前，必须仔细阅☆读说明书，且操作人员需※带防护面罩。使用时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/min，需始终保持石》英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时◆刻注意石英管内的气压，若气压超过安全值，会引起石↙英管开裂、法兰蹦出，甚至造成人身伤害。
其他事项
本机可■改为RTP（快速热处理炉）和混合物物理★化学气相沉积（HPCVD）系统。请∑参看下图。
