〈30〉直流溅射等离子实验仪 GTPS | |
GTPS直流溅射等离子实验仪包括可拆卸的溅射腔体、溅射靶台、真◆空抽气系统、测量系统、进气系统等部分组成. GTPS直流溅射等离子实验仪采用同轴二极溅射结构, 在真空室内以↑沉积材料为阴极, 加工样品为阳极, 工作期间两极间加直流电压引起放电, 放电气体中的离子被加速轰击靶面, 溅射粒子沉积在基片表面成膜.
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可开设的实验 ? 光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量; ? 金属薄膜的制备实验; ? 理解直流溅射原理, 掌握直流溅射薄膜材料的工艺方法. | 主要技术特点 ? 溅射靶台和溅射靶距离可调节, 研究在不同距离时对薄膜溅射的影响; ? 溅射基片可进行加热, 加热温度可控, 研究基片温度对薄膜溅射的影响; ? 溅射气压、溅射气源流量可调节, 研究不同气压、气源流量对薄膜♂溅射的影响; ? 反应腔体采用石英玻璃管, 可直观地观察到溅射现象; ? 工作气体可调节更换, 并可多路气体混合工作. |
主要技术参数 ? 溅射腔体外形尺寸: GTPS-1: Ф140mm×150mm; GTPS-2: Ф100mm×130mm; ? 溅射靶台: GTPS-1: Ф70×20mm; GTPS-2: Ф40, 可同时放6个样品; | ? GTPS-1: 基片加热温度可控范围: 室温~80℃; ? 溅射气压可调范围:10~200 Pa; ? 溅射电压:0~1500V连续可调, 溅射电流:0~200mA可调; ? 气源↙流量可控范围: 6~60ml/min; 25~250 ml/min; ? 供电电源: AC 220V,50Hz.
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出厂价:GTPS-1 ¥65160.00元; GTPS-2 ¥40560.00元 |