产品型号 |
GSL-1800X-ZF4 |
产品简介 |
GSL-1800X-ZF4是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀一些对氧较敏感的金属膜,如Ti, Al 和Au等,也可蒸镀各▽种氧化物材料。此款蒸镀仪安装有4个蒸镀加热头,可同时蒸发两种不同种材料。对于实验研究,这是一款镀膜效果理想并且性价比较高的实验设备。 |
电压 |
l 输入:208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 单相 ( < 3200W ) l 输出: 0 - 8VAC (可调)最大电流: 400A l 最大功率:4000W(包括真空泵) |
真空腔体 |
l 不锈钢腔体:280mm ID. x 375 mm H,腔体←内壁做了电抛光处理 l 有两个40mm的观察窗口(采用无氧铜密封圈密封) l 一个RF-150法兰,便∑于放入样品。 l 一个CF150法兰,可与真空泵相连接 l 一个CF-16法兰 l 七个CF-36法兰,便于安装真空计、电极和其他用途备用 |
真空泵 |
l 仪器中包括一台高抽速的涡轮分子泵 l 抽速:600L/S l 真空度:5.0x10-6 torr(泵开启后40分钟) l 极限真空度:5.0x10-7 torr(烘烤温度为100-150℃) l 漏气率:5.0x10-7Pa./S |
蒸发加热源样品台 |
l 5个水冷电极安装在腔体底部,可支持4个钨卐加热舟 l 每个钨舟上面安装有可移动的挡板,所以实验时可以实现多源共蒸发,也可实现顺序蒸发 l 样品台安装在真空腔体顶部,直径为260mm l 蒸发源与样品台的距离为300mm |
测厚仪 |
l 一个高分辨度的薄膜测厚仪安装在腔体内部 l 测量精度为:1.0? |
循环水冷机 |
l 仪器使用过程中需要通冷却水,为了节约用水,强烈建议使用循环水冷机 l 所需水流↑量>15L/min |
控制单元 |
l 真空、厚度和输入电源控制全部集合在一个控制盒内 l 控制单元和真空腔体独立分开,以便于操作 |
外形尺寸 |
L600mm× W860mm× H1500mm |
净重 |
600kg |
质保 |
一年质保期,终生维护 |
质量认证 |
CE认证 |