产品型号

EQ-TM106

产品简介

EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

产品特点

l  本机可与计算机连接。

l  显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测＠的膜

   厚、速率、频率、PWM 

l  控制『输出的百分比等工作状态。

l  通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输『出量程及

   通讯参数等进行设置，并可将所测◇相关数据写入Excel文件。

l  具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等々优点。

EQ-TM106-1监测组件

l  电源：DC   5V（±10%），最大电流400mA

l  频率分辨率：±0.03Hz

l  膜厚分辨率：0.0136?（铝）

l  膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度

   和密度

l  测量速度：100ms-1s/次，可设置

l  测量范围：500000?（铝）

l  标︽准传感器晶体：6MHz

l  计︽算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、

   19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）

l  模拟输出：8比特◥分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）

l  工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝ζ　水珠

l  外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪

l  输入电源：AC 220V±10%

l  输出电源：DC   5V  3A

l  显示器：12×2数码管与LED

l  通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设

   置，数据位：8位，停止位：1位 　，奇偶校验：无）

l  外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头

l  适用晶片频率：6MHz

l  适用晶片尺寸：Φ14mm

l  安装法兰：CF35

l  冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm

l  冷却水压：<0.3MPa

l  气动挡板「路管：Φ3mm

l  压缩空气压力：<0.8MPa，> >0.5MPa

l  烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃

l  电气接口：BCN插座

标准配件

l  EQ-TM106-1监测组件：1个

l  EQ-TM106-2显示仪：1台

l  EQ-TM106-3探头：1个

操作视频

整理中···

质量认证

CE Certified

质保期

一╳年质保期，终身维护