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产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16M |
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产品简介 |
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料→实验电极的制作。 |
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产品特点 |
l 设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。 l 通过调节溅射电流控制器、微型真ㄨ空气阀，控制真空室压强、电离电流及选 择所需要的电离气体，以获得 最佳镀膜效果。 l 钟罩边缘橡胶密◆封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现 象。 l 陶瓷密封高压■电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 l 根据电场中■气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅 射镀层更均匀▽纯净。 l 溅射头采用Peltier制冷技术，可︼得到高性能、精细颗粒的涂层Ψ 。 l 可用水冷溅射头、水冷载物台。 |
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技术参数 |
l 靶：Φ50mm l 真空室：Φ160mm×120mm l 最高真空度：≤4×10-2mbar l 最大电流：50mA（100mA） l 可设定最长时间：9999s l 微型真空气阀：连接Φ3mm软管 l 最高电压：1600V DC l 机械泵：2L/s |
| 规格尺寸 |
尺寸：360mm×300mm×380mm |
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标准配件 |
l 金靶材：1个 l 进气针阀：1个 l 保险丝：2个 |
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可选配件 |
金、铟、银、白金等各种靶材 |
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质量认证 |
CE Certified |
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操作视频 |
点击查看 |
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质保期 |
一年质保期，终身维护 |
