产品型号

VTC-2D

产品简介

TC-2DC是∑一款小型的直流（DC）等离子体磁控溅射镀膜仪系统，系♀统中包含了所有所需的配件，如500W（600V）的DC电源、2"的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜，它是一款物美价廉的实验手。

输入电源

l  220VAC 50/60Hz,

l  单相1000W  (包括真空泵）

等离子源

一个500W，600V的直流电源安装在移动柜内

磁控溅射头

l  一个2英寸磁控溅射︻头（带◣有水冷夹层），采用快速接头与真空腔体相连

l  靶材尺寸: 直径为50mm,最大厚度1.5mm

l  一个快速挡板安装在︼法兰上（手动操作，见图左3）

l  溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）

l  同时可选配1英寸溅射头

真空腔体

l  真空腔体：160 mm OD x 150 mm ID x  250mm H，采用高纯∮石英制作

l  密封法兰:直径为165 mm .  采用金属铝制作，采卐用硅胶密封圈密封

l  一个不锈钢网罩住整个石英腔体，以屏蔽等离子ζ体

l  真空度：10-3 Torr （采用双极旋片真空泵）

l  10-5 torr （采涡旋分子泵）

载样台

l  载样台可旋转（为了制膜更加均匀）并可加热

l  载样台尺寸：直径50mm （最大可放置2英寸的基片）

l  旋转速度：1 - 10 rpm

l  样品的最●高加热温度为700℃，控温精度+/- 1.0℃

真空泵

可选用直联式双极旋片泵,也可选用德国◢制作的分子泵系统 

薄膜测厚仪

l  一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 ? 

l  LED显示屏显示，同时也输入☆所制作薄膜的相关数据