小型电阻蒸发镀膜仪参数指标
1.腔室尺寸：Ф246×228mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接；
2.样品台尺寸：可拆卸式，尺寸60×60mm，旋转：0-20r/min可调；
※3.真空系统：合资机械泵+进口Pfeiffer分子泵；采用电磁挡板阀及限流阀；
4.极限真空：8.0×10-5Pa；
5.真空抽速：大气～8×10-4Pa≤20min；
※6.真空测量：全量「程复合真空计，测量范围：105Pa～10-5Pa；
7.蒸发源：3组水冷电极蒸发源，使用丝状源与舟状源，可兼容金属和有㊣ 机蒸发，源间有防污板；
8.蒸发电源：直流〓蒸发电源0～2000W连续可调，供3组蒸发源切换使用；
9.膜厚测量系统：可选配进口Inficon SQM-160单探◣头膜厚仪；
10.控制方式：PLC+触摸屏智能控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障自∴检、保养维护提示等功能；
11.设备外形：L60cm×W60cm×H96cm机电一体化机架，预留1个KF40及CF35法兰接口；
12.设备供电√总功率≤2KW，220V，单相三线制（一火一零一地）；
13.冷却循※环系统：水压0.2～0.4MPa，水温10～25℃，给设备相关需水冷◥部件提供稳定的制冷水，具有缺水报警功能；
14.设备集成度高，可以直■接放置于实验桌面上，需要拆卸的部分采用即插即用的方式，接线▅及安装调试便捷简单；
※15.设备整机可置于手套箱内，水、电、气等通过KF40接口接到手套箱外，与手套箱的对接灵活方便；
