一、真空炉√简介 我公司生产的真空炉结构为卧式,石英管腔体保证腔体清洁,前端可通入多种气体,后端■由真空泵获得真空,并通过调节阀门来调节腔体内真空度。 ◆用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压力实现自动控制。 ◆采用进口压力控制系统,闭环控制,稳定性高。 ◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。 ◆具有完善的报◆警功能及安全互锁装置。 ◆具有良好的人机界面,灵活的工艺性能。 二、主要技@术参数 ◆结构: 单管卧式、双管 ◆工作温度: 300~1200℃ ◆真空度: 2Pa、10(-5)Pa ◆真空室直径:Φ90~400mm ◆恒々温区长度:400~1000 mm ◆控制精度: ±1.0℃ ◆加热功率: 5~55KVA ◆控制系统: 进口仪表+PLC+触摸屏 ◆安全连锁保护:超温、断偶、缺水、压力异常保护报警 我公司生产的真空炉广泛用于玻璃♀基片在H2S气氛里硫化等各种工艺。该产品:自动控制,稳定性高,安全,气密性好,已经被广泛应用于工业≡领域的各行各业。