ETD-3000型离子溅射仪外观亮丽做工精致，旋钮式定时器档位清晰，手感舒适；特殊定制的真空指示和电流指示表头沉稳大气，具有欧洲典雅风范；前面板上的微泄漏气阀门可以连接多种气体；调节溅射电流大小，成膜速度快，质量好；高压输出可使成膜更加牢固快速。功能控制和定时皆由CPU调度，使用范围广。
工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及选择所需的电离气体，获得最佳镀膜效果。
配有高位定性的飞跃真空〓泵
Bright appearance of ETD-3000 type ion sputtering instrument
Fine workmanship, knob timer gear clear, comfortable hand, special custom vacuum indication and current indication head calm atmosphere, with European elegant demeanor; micro leakage valve on the front panel can connect a variety of gas; adjust the size of sputtering current, fast film formation speed, good quality; high voltage output film forming firm Solid and fast. Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
Vacuum pump equipped with high quality
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高压输出
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ETD-3000
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成膜牢固
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溅射气体 |
溅射靶材 |
溅射电流 |
溅射速率 |
样品仓尺寸 |
样品台尺寸 |
工作电压 |
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根据实验目●的可添加氩气，氮气等多╲种气体。
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标配靶材为金靶，厚度为50mm*0.1mm。也可〒根据实际情况配备银靶、铂靶等。 |
最大电流 50mA,最大工作电流30mA |
优于4nm/min
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直径160mm，高120mm
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样ξ 品台尺寸可安装直径50mm和直径70mm的样品台，也可根据自身要求定制样品台
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220V (可做110V), 50HZ |
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电子束敏感的样品电子束敏感的样品
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主要包括生物◆样品， 塑料样品等。S EM 中的电子束具有较◣高能量， 在〓与样品的相互作用 过程中，它以热 的形式将部分能量 传递给样↘品。如果 样品是对Ψ 电子束敏感 的材料，那这种相 互作用会破坏部分 甚▃至整个样品结构。 这种情况下，用一种 非电子束敏感材料 制备的▃表面镀层就 可以起到保护层∞ 的作用，防止此类损伤；
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非导电的样品
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由于样々品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作︽为一个导电通道，将充电电子从材料◇表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜︼成像时，溅射材∩料增加信噪比，从而获〓得更好的成像质量。
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新材料
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非导电材料实验电极制作观察◣导电特性
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