SPT-20小型离子溅射仪，预设八种靶材的溅射参数，可用于扫描电镜制样，也可用于其他小型镀膜实验。采用微处理器进行全自动控制，LCD液晶屏ω　显示，设置简单，一键操作，没有任何使用经验的用户，都可以独立操作。具有稳定的离子流，可以产生均匀的颗粒尺寸和均匀的镀膜厚度。

性能指标

  快速抽真空，小于3分钟
  预设的〗快速操作，一键操作
  条件设置简单，
  自动真空控制
  完成镀膜，自动卸载真空，
  样品高度调节方便，
  靶的尺寸：直径50.8mm（Au/Pt/Ag......  八种靶材）
  电源：220V,60Hz/50Hz ,300W
  离子流控制范围：1-9mA
  电离电压：~3KV
  溅射时间：10-300秒
  外形尺寸：420(W) x 220(D) x 230(H) mm 
  样品室内径：100mm
  旋片式机械真空泵：24L/min