产品描述
LJ-16小型离子溅射仪由裕隆时代公司精心设计制造,是专用于扫描电镜(SEM)的样品喷金镀膜系统,能够极为有效的提高电镜观测效果。
产品特点:操作简便,性能优越,质量稳定,功能丰富
相比上一代产品,LJ-16小型离子溅射仪□ 有大幅度的性能提升:
◆换装新一代真空泵,大幅◣降低仪器噪音和废气污染。
◆配置高质量真空系统和微调阀,结合自动控制电路,预置工作真空和电流,无需反复调节,操作极为简≡洁。可自选电离气体(空气或氩△气),以获取理想的镀膜效果。
◆棱角成型工艺制成高强度玻璃工作室,防止轻易磕●碰损伤和崩边。
◆配置溅射电流控制器和微l量@气体调节阀,结合自动控制电路,轻松控制真空室真空、电离电流,并可ξ 任意选择所需电离气体,以获得理想镀膜效果。
◆标配Φ58mm x 0.1mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大,靶材使用时间更长。
◆高级铝制机箱,坚实美观,模块化设计,便于安》装检修。
◆预设参数,一键操作即可完成溅射功能。
技术参数
名称 | 规格 | 名称 | 规格 |
玻璃处理室 | Ф 125mm x 高度125mm | 真空保护 | 20Pa,配有微量气▃体调节阀调节工作真空 |
试样台尺寸 | Ф 40mm, 可同时放六个样品╱杯 | 工作气体 | 空气或氩气 |
金靶尺寸 | Ф58毫米 X 0.1毫米 | 定时开关 | 控制溅射时间,范围为10~110S |
真空系统 | 直联旋片真空泵 2升/秒 | 可用靶材 | 金靶,铂靶,镍靶 |
真空检测 | 皮拉尼真空计 | 产品尺寸 | 375mm X 300mm X (高度)178mm(带玻璃罩) |
工作电源 | 220 VAC 50Hz |