系统各部分构成及技术参数
ENC 565主机 1台
测量范围：500mm Y：600mm Z：500mm
结构类型：移动桥式。
分辨率：0.5μm。
示值精度：E3 = （2.4 + L/300） μm （L单位:mm）。
探测误差：R = 2.6μm。
机台承重：500kg。
整机重量：1200kg
台面可用尺＠寸：1100 mm X 800 mm。
传动方式：柔性同步带。
驱动系统：直流伺服系统
示值系统：英国Renishaw自粘开放式金属反射光栅尺。
工作机台：高精▂度花岗岩平台（00级）
导轨型式：高∩精度导轨＋预载荷高精度空气轴承。
气源处理：日本SMC。
